适用于电子半导体、大规模集成电路、MAMS、单晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化镓、碳化硅、科研开发、实验分析等。
● 适用于氮气、氢气、氧气、氩气、氦气和氨气，原料气不低于99.999%
● 深度脱除杂质O 2 、H 2 O、CO、CO 2 、H 2 、N 2 、CH 4 和NMHC至1ppb/10ppb
● 双塔交替吸附再生，单塔催化，终端Getter吸附，全自动连续运行
● EP级抛光不锈钢管件
● 配置0.003μm过滤器，去除率可达99.999999% /99.99999%
● 西门子 PLC 可接入DCS系统
● 安全报警功能完善
● 可提供远程云服务
● 超净环境中生产组装
● 气体处理量10-20000Nm 3 /h
