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产品分类 9N系列纯化器（0.1ppb） 8N/7N系列纯化器 6N系列纯化器 9NP/8NP终端纯化器POU 制氮机配套用气体纯化器 ******催化吸附材料超纯气体现场供应及运营管理排放尾气回收提纯循环利用装置工业副产氢气制备高纯氢气装置 PSA制取高纯氢

产品展示

9NP/8NP终端纯化器POU

应用领域：

●实验分析、科研开发

●集成电路制造、MAMS

●单晶硅、多晶硅及硅外延

●LED、TFT

●氮化镓、碳化硅等

●气体吹扫、焊接

●氨气纯化器应用于科研院校

●小型终端氢气纯化器应用于高科技仪器公司

特点：

●常温使用

●重复再生

●杂质脱除深度高

●内置微米过滤器，独特结构，防止堵塞

●可根据用户需要定制各种型号

●使用成本低

8NP 系列常规型号一览表
适用气体	N ₂ 、 H ₂ 、 O ₂ 、 Ar 、 He 、 NH ₃ 、 SiH ₄ 、 HCL
处理量 (L/min)	5	10	20	30	50	100	150		200	300	500	800	1000
长度 ( mm)	120	150	225	220	200	385	465		360	508	760	600	716
直径	2’			2.5’	3’				4’			6’

进 / 出气口接头

1/4 VCR

1/2 VCR

使用压力	1.0Mpa
******气体压差	0.1 Mpa
纯化指标	单项杂质＜ 1ppb
使用寿命	六个月（返厂再生）
Ø 可根据客户要求，定制特殊型号产品。

9NP 系列常规型号一览表
适用气体	N ₂ 、 H ₂ 、 O ₂ 、 Ar 、 He 、 NH ₃ 、 SiH ₄ 、 HCL
处理量 (L/min)	5	10	20	30	50	100	150	200	300	500	800	1000
长度 (mm)	130	180	275	260	380	500	435	550	780	600	900	1100
直径	2’			2.5’		3’	4’			6’
进 / 出气口接头	1/4 VCR						1/2 VCR
使用压力	1.0Mpa
******气体压差	0.1 Mpa
纯化指标	单项杂质＜ 0.1ppb
使用寿命	六个月（返厂再生）
Ø 可根据客户要求，定制特殊型号产品。

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