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9N 超纯气体纯化器

系列型号

适用气体

原料气指标

产品气指标

N ₂

H ₂

O ₂

Ar

He

O ₂

H ₂ O

CO ₂

CO

CH ₄

H ₂

N ₂

颗粒度

9VV

●

●

●

●

●

5N

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

—

≤ 0.1ppb

—

0.003 μ m

9OVV

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—

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5N

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

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0.003 μ m

9VVX

—

—

—

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5N

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

0.003 μ m

—

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≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

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≤ 0.1ppb

0.003 μ m

9X

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5N

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

0.003 μ m

—

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≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

≤ 0.1ppb

—

≤ 0.1ppb

0.003 μ m

注：常用流量规格： 1-20000Nm ³ /h; 常用压力： 1-20Mpa